嘉騰影像測(cè)量?jī)x的機(jī)械主體設(shè)計(jì)
實(shí)際應(yīng)用中,既有對(duì)精度要求高的精密電子產(chǎn)品等用戶,也有只限于一般測(cè)量的其他用戶.從待測(cè)工件的尺寸來看,既有電子零配件等小型零件,也有印刷電路板等尺寸較大的工件.針對(duì)這些精密和尺寸要求不同的用戶,影像測(cè)量?jī)x制造商也相應(yīng)地生產(chǎn)了不同精度級(jí)別和測(cè)量行程的儀器設(shè)備,以適應(yīng)市場(chǎng)的多樣化需求.
一臺(tái)高精度檢測(cè)儀器,往往受限于多種精度瓶頸.對(duì)影像測(cè)量?jī)x影響較大的精度瓶頸包括:標(biāo)尺系統(tǒng)的精度,誤差補(bǔ)嘗性能,導(dǎo)軌質(zhì)量,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)性能等.所以對(duì)于精度要求的不同,其配置的各部件會(huì)有差異.
現(xiàn)以嘉騰公司的JTVMS型自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x的結(jié)構(gòu)配置為例進(jìn)行說明.JTVMS型自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x是嘉騰公司自主研制的高精密自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀器,主要面向中小尺寸的工件測(cè)量,測(cè)量精度為(2.0+L/300UM),測(cè)量行程最大可達(dá)500MM*400MM.
JTVMS型測(cè)量?jī)x采用柱式結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)時(shí)盡量選用高端性能的部件以減少精度瓶頸.標(biāo)尺系統(tǒng)是影響測(cè)量?jī)x極限精度的部件,JTVMS選用了英國RenishawR的開放式光柵尺.JTVMS測(cè)量?jī)x為全自動(dòng)機(jī)型,為確保精度和計(jì)算機(jī)數(shù)字控制的性能.XYZ三軸導(dǎo)軌選用的是日本THK精密線性滑軌和精密傳動(dòng)機(jī)構(gòu).由于花崗石變形小,穩(wěn)定性好,因此JTVMS測(cè)量采用花崗石作為主體結(jié)構(gòu)材料.根據(jù)測(cè)量對(duì)象的不同,JTVMS型影像儀可以提供多種行程規(guī)格的配置.