平面度,是屬于形位公差中的一種,指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統(tǒng)的檢測方法中,平面度的測量通常有:塞規(guī)/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法(平晶干涉法)、水平儀/數(shù)字水平儀測量法、以及打表測量法。
塞尺測量法,只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高,常規(guī)最薄塞尺為10um,檢測效率較低,結(jié)果不夠全面,只能檢測零件邊緣。
液平面法,基于連通器工作原理,適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅適用于測量精度較低的平面。
激光平面干涉儀測量法,最典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量,如千分頭測量面,量規(guī)的工作面,光學透鏡。
水平儀測量法,廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復(fù)挪動儀器位置,記錄各測點的數(shù)據(jù),費時、費力,調(diào)整時間長,數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。
打表測量法,典型應(yīng)用為平板測微儀及三坐標儀,其中優(yōu)以三坐標儀為應(yīng)用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動,按選定的布點測取各測量點相對于測量基準的數(shù)據(jù),再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評定出平面度誤差。但其效率較低,通常一個樣品需要幾分鐘,離15ppm的期望相差甚遠。
激光測量儀:嘉騰新開發(fā)平面度測量儀FS5030系列,采用高精度大理石基座及平板保證極高的平面精度以及穩(wěn)定性和剛性.精密研磨級滾珠絲桿及線性導(dǎo)軌,配松下伺服馬達具有高速精確的定位以及運動的穩(wěn)定性.人性化的人機界面,配專用全自動平面測量軟件,可編程自動檢測,大大提高測量效率.含基恩士LK-G10或LKG30激光,可以快速測量平整度,伯恩光學、合力泰等玻璃行業(yè)公司,目前都在采用嘉騰新開發(fā)的平面度檢測儀,大大節(jié)約人工成本,提供測量效率以及檢測精度。